1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
1 引言随着世界人口的增长与经济的快速发展,能源消耗也在快速增长。
据国际能源署(iea)发布的报告显示,2019年全球co2排放量创历史新高,达331.43亿吨。
在上升的化石燃料总排放量中,来自电力行业的排放量占了近2/3。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
本课题要研究的问题：1.找到能够加快抛光速率，提高硅片反射率的添加剂。
2.研究不同成分比例的抛光液体系对抛光效果的影响。
3.研究刻蚀对硅片表面形貌、反射率、重量的影响。
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