单晶硅表面可控反应构建特殊微结构研究开题报告

 2023-06-20 09:06

1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)

随着全球经济快速发展和社会进步,能源短缺和环境污染问题已经成为经济社会发展的障碍。

如何在化石燃料枯竭的时期继续维持社会发展和保障人民生活水平,是各国亟需解决的问题。

新能源开发和利用将为人类文明可持续发展提供重要保障。

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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

一、研究内容1、使用碱性混合物溶液处理单晶硅片,使晶片表面生成织构。

2、使用sem分析硅片刻蚀后表面形貌,结合外观进行比较分析。

3、使用分析天平称量硅片前后重量,计算出蚀刻导致的重量变化,并计算刻蚀速率。

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